填补国产替代市场空白 半导体机器人研发生产基地项目在沈阳中德园开建

　　沈阳4月30日电 (记者 赵桂华)中科芯微半导体机器人研发生产基地项目，4月30日在沈阳中德园启动建设，将打造国内领先的集研发、生产、销售为一体的半导体机器人研发生产基地，致力于半导体专业设备领域的国产替代研发，填补国产替代市场的空白。

　　据了解，上述项目的投资方中科芯微智能装备(沈阳)有限公司，是位于沈阳中德园的一家高新技术企业，主要专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化，构建了覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系，年均推出5-10项创新产品，累计完成十余项重大科技攻关项目，成功开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品。突破了相关技术壁垒，在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等关键技术领域取得重大进展。

　　该项目计划总投资5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米。建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等，购置自动化产品生产设备、试验设备、标准检测设备。项目竣工投产后可实现年产半导体机器人1000台套，预计新增产值10亿元，税收5000万元，新增就业500余人。

　　项目所在的沈阳市铁西区相关负责人告诉记者，该区将立足自身产业基础和发展定位，全力构建“四突破两升级”的铁西新材料及集成电路产业体系，通过提质升级先进金属、化工、无机非金属材料产业链条；培育壮大超高纯净石英半导体材料产业规模，全力支持中科芯微申报潜在独角兽企业；改造提升石油化工材料、冶金建筑材料产业水平；推动传统制造业转型升级、新兴产业发展壮大，为区域经济发展蓄势赋能。以“强攻二季度，勇夺双过半”的拼搏精神，全面加快项目建设步伐，坚决打好打赢三年行动决胜之年决胜之战，展现新时代新铁西的更大担当作为。(完)